芝浦エレテック
小型真空応用装置 EEA-04TM

見積品

特徴

●カスタマイズ製品の一例です。

仕様

サイズ(mm):600×842×1180
重量(kg):170
到達圧力:5.0×10^-4Pa
排気時間:6.6×10^-3Pa/5min
真空チャンバー:アルミ合金製
汎用ポート:真空チャンバー側面4ヶ所
メインポンプ:空冷式ターボ分子ポンプ(220L/s)
補助ポンプ:油回転式真空ポンプ(300L/s)
操作系:手動操作方式
電源:三相200V、6kV
※特注を承ります。

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