キャリア

特徴
●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
グループ説明
●収納枚数:25枚
●連続使用限界温度:120°C
●材質:KAタイプ/SP3000(導電性PEEK+Carbon Fiber)、 Aタイプ/ナチュラルPFA(フッ素樹脂)
●高温ウェハー投入限界温度:KAタイプ/500°C、Aタイプ/290°C
●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
●収納枚数:25枚
●連続使用限界温度:120°C
●材質:KAタイプ/SP3000(導電性PEEK+Carbon Fiber)、 Aタイプ/ナチュラルPFA(フッ素樹脂)
●高温ウェハー投入限界温度:KAタイプ/500°C、Aタイプ/290°C
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