クリーンエアーモジュール
特徴
●クリーンフィルターに、減圧弁やON/OFF弁、フロースイッチ等をモジュール化した商品です。
●モジュール化されていますので、配管工数が削減でき、省スペースで、手軽にクリーンエアが得られます。
●クリーンルーム組付け2重梱包にて出荷します。
グループ説明
●使用流体:クリーンエア、 N@2@ガス(入口空気条件/ISO8573-1 品質等級1.4.1~1.6.1相当)
●最高使用圧力:0.7MPa
●設定圧力:0.05~0.4MPa
●流体接触部:ノングリース、シリコンフリー
●使用流体温度:5~45°C(デジタルフロースイッチ/15~35°C)
●ろ過度:0.01um(捕集効率99.99%)
●流量範囲:5~100l/min