マスフローコントローラ
特徴
●流量設定値まで1秒以内(T98)の高速応答の流量計です。
●高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
●オートゼロアジャスト機能を搭載しています。
グループ説明
●本体サイズ:-01~-06/127×32×126mm、-07~-12/124×32×126mm
●流量精度:±1%F.S.(精度保証範囲:15°C~35°C)
●応答速度:1秒以内(T98)
●流量制御範囲:2~100%F.S.
●継手:SW/1/4Swagelok相当、VCR/1/4VCR相当
備考
※ご注文の際は対応ガスコード表より対象ガス・継手形状を選択してください。※別売の電源一体型制御ユニットと接続ケーブルを合わせてご使用ください。
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