ロータリーポンプ

特徴

・オイルの逆流防止機構を装備。
・低振動・低ノイズ(48DB以下)。
・2種類の排気モード(高真空モード、ハイスループットモード)。
■用途
・電子顕微鏡、スパッタリング装置、蒸着装置、真空溶解炉・真空熱処理炉、表面改質装置・真空熱処理炉、理化学実験用・分析機器用、ガス循環・回収装置用