PFAウェハーキャリア(3インチ)

特徴
●開孔面積を広く取り、洗浄性を強化しています。
●K-30-52はピッチを狭くし、一度に52枚ウェハーを収納可能です。
●KM-30WDは、側面の開口が特に大きく洗浄性に優れています。但し、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。
グループ説明
●材質:セミプラストRA(PFA)
●開孔面積を広く取り、洗浄性を強化しています。
●K-30-52はピッチを狭くし、一度に52枚ウェハーを収納可能です。
●KM-30WDは、側面の開口が特に大きく洗浄性に優れています。但し、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。
●材質:セミプラストRA(PFA)
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