高真空ダイアフラム真空ポンプ

特徴

●サーマルプロテクター内蔵です。
●DAU-100はアンローダバルブ付きです。
●DTU-20はケミカルタイプで接ガス部にETFE・PTEE(四フッ化エチレン)・PP(ポリプロピレン)を使用しています。
●MD-4UNTは広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとして使用できます。