東京精密
小型表面粗さ測定機 リトラクト・5μM/4mN

商品

特徴

ポータブルで測定シーンを選ばないエントリーモデル
ワークや測定箇所に応じて選択できる手のひらサイズのハンディ駆動部
ワークと接触するピックアップ部分は交換可能で、標準付属のピックアップの代わりに細穴測定用、極細穴測定用、深溝測定用のピックアップ(オプション)の使用が可能
標準付属の専用校正台で簡単校正

仕様

先端R:5μm
測定範囲/Z方向:-210~+160μm
測定範囲/駆動軸:16mm/X方向
駆動部/動作方式:リトラクトタイプ
駆動部/評価長さ:0.2~16mm
駆動部/測定速度:0.5、0.6、0.75、1.0mm/s
ピックアップ/センシング方式:差動インダクタンス
ピックアップ/測定方式:スキッド式
ピックアップ/Z方向分解能:0.0007μm/-210~+160μm
ピックアップ/型式:E-DT-SM10A
触診/測定力:4mN
先端半径:rtip = 5 μm
触診/先端:90°円錐
触診/先端材質:ダイヤモンド