ミライアル
ウェハーキャリア(PFA) 4インチ KM-40N

商品

特徴

KM-40WDは、側面の開口が特に大きく洗浄性に優れています。但し、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。
KM-40NAはHバー補強タイプです。

仕様

ウェハー径(mm):100(4′′)
サイズ(mm):A1/142.24、A2/125.5、A3/114.3、D1/13.97、B2/4.76、D6/61、D6g/70
収納数:25枚
材質:セミプラスト(R)A(PFA)

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