ガス混合器 CUBEGM4

商品

特徴

●マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワンにしたユニットタイプです。
●4種類の各ガスを流量制御し混合ガスを供給します。

仕様

ガス種類:4
サイズ(mm):515×298×250
対応ガス:Air・N2・Ar・He・H2・CO2・O2
流量制御範囲:各ガスF.S.10SCCM~20SLM(但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと)
流量設定:10回転ポテンションメーターにて可変
流量設定/出力表示:スケーリング表示
設定/出力表示切替:トグルスイッチ
IN・OUTLETバルブ:ボールバルブ
接ガス部材質:ステンレス(SUS316)、PTFE(四フッ化エチレン樹脂)、フッ素ゴム
継手:1/4in.SWL相当
外部リーク:5×10^-7Pa・m3/sec He
入力電源:AC100V
使用環境:温度/5~50°C(精度保証範囲:15~35°C)、湿度/30~80%(結露なし)
付属品:ACケーブル(2m)

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