真空用テンプ・プレート(不可逆性)#240de04b0a

特徴

●水・ガス・薬品などの影響を受けずに温度測定ができます。
●プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバーされています。
●ラベルの端から示温素子まで1mmなので、ウェハ・エッジの温度を測ることができます。
●裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散を防ぎ、アウトガスを抑えます。

グループ説明

●表示:3点表示
●精度:±1%(100°C以下±1°C)
●反応速度:1秒(水中、緩やかな熱勾配)
●サイズ:8mm×3mm
●示温サイズ:φ1.5mm