Wahl instruments
真空用テンププレート 430V-083(10枚)

商品

特徴

水・ガス・薬品などの影響を受けずに温度測定ができます。
プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバーされています。
ラベルの端から示温素子まで1mmなので、ウェハ・エッジの温度を測ることができます。
裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散を防ぎ、アウトガスを抑えます。

仕様

表示:3点表示
精度:±1%(100°C以下±1°C)
反応速度:1秒(水中、緩やかな熱勾配)
サイズ:8mm×3mm
示温サイズ:φ1.5mm
温度組合せ(°C):82-88-93
入数:1ケース(10枚入)
不可逆性
型番:430V-083

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